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Thermal、 ALD、 SiN设备、 东领科技、

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东领科技装备有限公司成立于2021年，工厂位于苏州吴江汾湖科技创业园区，在上海，韩国均设有办事处或子公司，矢志成为领先的半导体工艺所需的CVD/ALD设备的制造公司，服务全球客户。

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东 领 科 技 装 备 有 限 公 司 首 页 公 司 简 介 公 司 新 闻 产 品 展 示 联 系 我 们 加 入 我 们 中 英 智 能 科 技 新 时 代 N e w e r a o f i n t e l l i g e n t t e c h n o l o g y 拥 有 独 立 自 主 的 知 识 产 权 O w n i n d e p e n d e n t i n t e l l e c t u a l p r o p e r t y r i g h t s 关 于 东 领 科 技 东 领 科 技 装 备 有 限 公 司 成 立 于 2 0 2 1 年 ， 工 厂 位 于 苏 州 吴 江 汾 湖 科 技 创 业 园 区 ， 在 上 海 ， 韩 国 均 设 有 办 事 处 或 子 公 司 ， 矢 志 成 为 领 先 的 半 导 体 工 艺 所 需 的 C V D / A L D 设 备 的 制 造 公 司 ， 服 务 全 球 客 户 。   作 为 芯 片 制 造 工 艺 的 设 备 企 业 ， 东 领 科 技 拥 有 独 立 自 主 的 知 识 产 权 ， 聚 焦 于 C V D / A L D 设 备 的 研 发 、 生 产 和 销 售 ， 是 目 前 国 内 少 数 可 以 提 供 高 端 C V D / A L D 设 备 的 半 导 体 公 司 。 服 务 全 球 客 户 领 先 的 技 术 优 秀 研 发 团 队 了 解 更 多 > > 产 品 中 心 P r o d u c t c e n t e r T h e r m a l A L D S i N 设 备 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 是 一 种 薄 膜 制 备 技 术 ， 可 以 将 物 质 以 单 原 子 膜 形 式 一 层 一 层 镀 在 基 底 表 面 。 在 镀 膜 过 程 中 ， 两 种 或 更 多 的 化 学 气 相 前 驱 体 依 次 在 基 底 表 面 发 生 化 学 反 应 从 而 产 生 固 态 的 薄 膜 。 原 子 层 沉 积 系 统 采 用 一 种 横 流 式 反 应 腔 ， 在 该 反 应 腔 内 有 惰 性 载 气 穿 过 ， 前 驱 体 通 过 极 短 的 脉 冲 注 入 到 这 个 惰 性 载 气 中 。 惰 性 载 气 携 带 着 前 驱 体 脉 冲 作 为 一 种 有 序 “ 波 ” 依 次 通 过 反 应 腔 ， 真 空 泵 管 路 ， 过 滤 系 统 ， 并 最 终 通 过 真 空 泵 。 在 原 子 层 沉 积 过 程 中 ， 新 一 层 原 子 膜 的 化 学 反 应 是 直 接 与 之 前 一 层 相 关 联 的 ， 这 种 方 式 使 每 次 反 应 只 沉 积 一 层 原 子 。 应 用 领 域 A p p l i c a t i o n 广 泛 服 务 于 光 纤 通 信 、 光 纤 传 感 、 移 动 通 讯 、 石 油 勘 测 与 基 站 、 卫 星 通 讯 、 雷 达 通 讯 、 航 空 航 天 、 微 波 光 电 通 讯 、 光 电 子 、 高 能 物 理 、 生 物 医 疗 等 领 域 ！ 光 电 通 信 P h o t o e l e c t r i c c o m m u n i c a t i o n 了 解 更 多 卫 星 通 讯 S a t e l l i t e c o m m u n i c a t i o n s 了 解 更 多 生 物 医 疗 B i o m e d i c a l 了 解 更 多 航 天 航 空 A e r o s p a c e 了 解 更 多 光 电 通 信 P h o t o e l e c t r i c c o m m u n i c a t i o n 了 解 更 多 卫 星 通 讯 S a t e l l i t e c o m m u n i c a t i o n s 了 解 更 多 生 物 医 疗 B i o m e d i c a l 了 解 更 多 航 天 航 空 A e r o s p a c e 了 解 更 多 新 闻 资 讯 N e w s a n d i n f o r m a t i o n 东 领 科 技 装 备 首 台 A L D 设 备 正 式 出 厂 助 推 半 导 体 产 业 今 天 （ 9 月 2 3 日 ） ， 东 领 科 技 装 备 有 限 公 司 首 台 A L D 原 子 层 化 学 薄 膜 沉 积 及 氮 元 素 注 入 设 备 正 式 出 厂 ， 标 志 着 汾 湖 高 新 区 半 导 体 产 业 2 6 2 0 2 2 0 9 东 领 科 技 装 备 首 台 A L D 设 备 正 式 出 厂 助 推 半 导 体 产 业 今 天 （ 9 月 2 3 日 ） ， 东 领 科 技 装 备 有 限 公 司 首 台 A L D 原 子 层 化 学 薄 膜 沉 积 及 氮 元 素 注 入 设 备 正 式 出 厂 ， 标 志 着 汾 湖 高 新 区 半 导 体 产 业 投 资 者 信 息 I n v e s t o r I n f o r m a t i o n 加 入 我 们 J o i n u s 首 页 公 司 简 介 公 司 新 闻 产 品 展 示 联 系 我 们 加 入 我 们 地 址 ： 苏 州 市 吴 江 区 黎 里 镇 汾 湖 大 道 5 5 8 号 2 号 研 发 楼 1 0 1 室 电 话 ： 0 5 1 2 6 3 2 5 1 9 5 7 邮 箱 ： Y u n . y e @ d o n g l i n g s e m i . c o m 扫 一 扫 关 注 我 们 C o p y r i g h t   2 0 1 7 2 0 1 8 东 领 科 技 装 备 有 限 公 司     A l l R i g h t s R e s e r v e d .     苏 I C P 备 2 0 2 2 0 3 4 6 4 4 号           苏 公 网 安 备 3 2 0 5 0 9 0 2 1 0 2 7 2 8 号 技 术 支 持 ：

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