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米洛创新(深圳)有限公司、 一体式、 真空阀、 挡板阀、 真空挡板阀、 高真空挡板阀、 气动挡板阀、 气动高真空挡板阀、 气动高真空挡板阀、 真空角阀、 高真空角阀、

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米洛创新(深圳)有限公司专注于一体式气动高真空挡板阀，高度紧凑的结构设计，千万次动作寿命，250℃耐温性能，工匠精神，创新理念

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高 真 空 挡 板 阀 米 洛 创 新 ( 深 圳 ) 有 限 公 司 中 文 高 真 空 挡 板 阀 米 洛 创 新 ( 深 圳 ) 有 限 公 司 T o g g l e n a v i g a t i o n 主 页 产 品 优 势 关 于 米 洛 联 系 方 式 专 注 全 球 领 先 的 一 体 式 气 动 高 真 空 挡 板 阀 精 益 求 精 的 性 能 、 寿 命 、 外 观 美 感 与 服 务 内 置 灰 尘 过 滤 器 ; 屈 服 强 度 高 达 1 7 0 0 M P a 的 1 7 7 P H 耐 高 温 不 锈 钢 弹 簧 ( 寿 命 > 1 0 0 0 万 次 ) ； 四 个 信 号 指 示 ( 电 磁 阀 L E D 、 阀 开 启 位 置 L E D 、 阀 关 闭 位 置 L E D 、 机 械 伸 出 指 示 ) ； 任 意 可 调 电 气 接 头 朝 向 ； 磁 性 开 关 的 抗 干 扰 型 磁 触 发 设 计 … … … … 产 品 选 型 资 料 下 载 一 体 式 真 空 阀 ( 专 利 产 品 ) & n b s p ●   阀 门 特 点 ： 内 部 集 成 电 磁 阀 、 磁 性 开 关 、 航 空 插 头 、 灰 尘 过 滤 器 、 消 声 器 、 信 号 指 示 灯 等 部 件 ， 加 上 内 置 型 气 缸 结 构 ， 形 成 高 度 紧 凑 的 一 体 式 结 构 。 ● & n b s p 阀 体 口 径 ： I S O K D N 6 3 ， K F 5 0 ， K F 4 0 ， K F 2 5 ， K F 1 6 ， K F 1 0 ●   阀 体 材 料 ： 铝 A 6 0 6 1 ( 外 部 喷 砂 氧 化 ， 内 部 铝 本 体 精 加 工 ) ， 不 锈 钢 3 1 6 L ( 一 体 式 加 工 无 焊 缝 ， 内 外 抛 光 ) ● & n b s p 可 选 型 号 ： 常 开 ， 常 闭 ， 角 阀 ， 直 通 阀 性 能 参 数 手 动 真 空 阀 ( 专 利 产 品 ) & n b s p ● & n b s p 阀 门 特 点 ： 转 动 旋 钮 9 0 ° ， 即 可 实 现 阀 门 的 开 启 与 关 闭 ； 开 关 到 位 后 自 动 锁 紧 ； 精 心 设 计 的 人 体 舒 适 扭 力 。 ● & n b s p 阀 体 口 径 ： K F 4 0 ， K F 2 5 ， K F 1 6 ， K F 1 0 ●   阀 体 材 料 ： 铝 A 6 0 6 1 ( 外 部 喷 砂 氧 化 ， 内 部 铝 本 体 精 加 工 ) ， 不 锈 钢 3 1 6 L ( 一 体 式 加 工 无 焊 缝 ， 内 外 抛 光 ) ● & n b s p 密 封 形 式 ： 超 高 寿 命 3 1 6 L 金 属 波 纹 管 性 能 参 数 二 段 控 制 真 空 阀 ( 专 利 产 品 ) & n b s p ● & n b s p 通 过 P I D 控 制 ， 以 ± 0 . 0 2 m m 的 精 度 控 制 阀 门 的 阀 板 打 开 高 度 ， 使 阀 门 处 于 闭 合 、 部 分 打 开 、 完 全 打 开 这 三 个 状 态 ， 实 现 阀 门 的 二 段 控 制 功 能 ， 即 带 软 启 动 功 能 。 ● & n b s p 与 传 统 的 双 阀 门 双 电 磁 阀 的 二 段 式 阀 门 的 电 气 接 线 完 全 一 样 ， 客 户 在 电 气 接 线 上 无 需 要 做 任 何 更 改 。 ● 阀 板 高 度 可 以 实 时 调 整 ， 可 调 高 度 范 围 为 0 . 7 ~ 3 . 7 m m 。 ●   外 观 与 M A C 一 体 式 真 空 角 阀 的 尺 寸 一 致 。 性 能 参 数 泄 压 型 真 空 阀 & n b s p ● & n b s p 兼 具 真 空 阀 与 过 压 保 护 功 能 ● & n b s p 当 腔 室 侧 的 压 力 超 过 大 气 侧 2 0 K P a 时 ， 阀 板 会 完 全 打 开 （ 可 根 据 客 户 要 求 设 计 合 适 的 压 力 ） ● & n b s p 腔 室 抽 真 空 时 ， 阀 板 会 自 动 吸 合 密 封 ， 泄 漏 率 1 1 P a * m 3 / s 。 ● & n b s p 外 观 尺 寸 同 M A C 系 列 ● & n b s p 型 号 示 例 ： M A C K F 2 5 A L G 性 能 参 数 外 置 型 真 空 阀 & n b s p ●   传 统 型 阀 门 ， 电 磁 阀 与 磁 性 开 关 置 于 阀 体 外 部 ， 客 户 需 要 自 配 电 磁 阀 与 磁 性 开 关 ， 可 选 常 闭 、 常 开 以 及 双 作 用 ● & n b s p 适 合 于 阀 岛 集 中 控 制 ● 超 高 寿 命 金 属 成 型 波 纹 管 ， 千 万 次 动 作 寿 命 性 能 参 数 超 高 真 空 阀 & n b s p ● & n b s p C F 法 兰 ， 超 高 真 空 应 用 ● & n b s p 阀 体 采 用 S U S 3 1 6 L 不 锈 钢 一 体 加 工 而 成 ， 无 任 何 焊 缝 ， 内 外 表 面 采 用 抛 光 处 理 ， 适 合 对 真 空 要 求 极 高 与 极 可 靠 的 场 景 ● & n b s p 内 漏 与 外 漏 的 泄 漏 率 1 2 P a * m 3 / s 。 性 能 参 数 松 开 阀 体 上 部 的 四 个 螺 钉 ， 电 气 接 头 的 朝 向 可 以 在 四 个 侧 面 之 间 进 行 调 节 ， 这 可 使 设 备 的 电 气 接 线 更 合 理 ， 紧 凑 。 电 气 接 头 为 航 空 插 头 G X 1 6 6 ， 出 厂 标 配 的 母 接 头 为 直 线 型 ， 同 时 也 可 选 配 9 0 ° 弯 接 头 ， 电 气 接 线 的 朝 向 可 在 四 个 方 向 上 进 行 调 节 。 通 过 的 传 热 设 计 ， 室 温 时 米 洛 阀 门 中 的 电 磁 阀 在 持 续 开 启 状 态 下 ， 温 度 仅 有 3 7 ℃ ， 在 2 5 0 ℃ 下 持 续 工 作 气 流 下 ， 电 磁 阀 温 度 只 有 8 5 ℃ ( 最 高 使 用 温 度 1 1 0 ℃ ) ； 同 时 采 用 耐 高 温 的 磁 性 开 关 和 弹 簧 ， 这 使 得 米 洛 阀 门 可 以 稳 定 工 作 在 极 限 温 度 2 5 0 ℃ ( 氟 橡 胶 的 最 高 使 用 温 度 ) 。 传 统 的 磁 场 触 发 的 方 式 ( 左 ) ， 二 个 磁 性 开 关 一 般 需 要 间 隔 2 0 m m 以 上 ， 否 则 易 产 生 干 扰 ， 而 这 会 导 致 阀 门 体 积 的 增 加 ； 米 洛 公 司 研 发 的 专 利 型 磁 性 开 关 的 磁 场 触 发 方 式 ( 右 ) ， 通 过 精 巧 的 磁 触 发 设 计 ， 二 个 磁 性 开 关 在 位 置 完 全 重 合 下 依 旧 可 以 独 立 工 作 ， 相 互 之 间 具 有 极 高 的 抗 干 扰 性 。 专 注 & n b s p & n b s p 精 细 & n b s p & n b s p 创 新                 米 洛 创 新 ( 深 圳 ) 有 限 公 司 是 一 家 专 注 于 研 发 和 生 产 一 体 化 高 真 空 气 动 挡 板 阀 的 创 新 型 企 业 。 本 公 司 生 产 的 一 体 化 高 真 空 气 动 挡 板 阀 ( 专 利 产 品 ) ， 具 有 高 度 紧 凑 的 结 构 设 计 ， 浑 然 天 成 的 外 观 美 感 ， 高 达 千 万 次 的 动 作 寿 命 ， 优 异 的 耐 温 性 能 ， 并 提 供 三 个 月 包 退 一 年 保 修 的 售 后 服 务 。 区 别 于 市 场 上 其 他 阀 门 厂 商 的 大 而 全 ， 我 们 追 求 专 注 、 精 细 、 创 新 的 工 匠 精 神 ， 专 注 于 擅 长 的 优 势 技 术 ， 致 力 于 为 客 户 提 供 精 益 求 精 、 高 品 质 的 产 品 。               本 公 司 研 发 的 一 体 化 高 真 空 气 动 挡 板 阀 采 用 独 创 的 阀 体 内 置 气 缸 设 计 ( 专 利 技 术 ) ， 并 实 现 了 电 磁 阀 、 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 、 L E D 指 示 灯 、 航 空 电 气 插 头 、 进 气 接 头 、 灰 尘 过 滤 器 和 消 声 器 等 组 件 的 高 度 集 成 ( 专 利 技 术 ) 。 通 过 创 新 性 的 波 纹 管 设 计 及 多 项 稳 定 性 技 术 改 进 ( 核 心 技 术 创 新 ) ， 本 阀 门 的 寿 命 在 全 球 范 围 内 处 于 领 先 地 位 ， 可 达 千 万 次 。 这 些 技 术 创 新 不 仅 提 升 了 产 品 的 可 靠 性 和 耐 用 性 ， 也 极 大 地 优 化 了 空 间 利 用 率 和 设 备 维 护 的 便 利 性 。         特 别 是 ， 本 公 司 为 高 真 空 挡 板 阀 研 发 的 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 ( 专 利 产 品 ) ， 具 备 超 低 的 6 μ A 漏 电 流 和 低 至 2 . 5 V 的 工 作 压 降 ， 其 工 作 电 流 高 达 5 0 0 m A ， 克 服 了 传 统 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 的 多 项 缺 点 。 此 外 ， 我 们 研 发 的 三 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 ( 专 利 产 品 ) 创 新 性 地 兼 容 N P N 与 P N P 型 P L C ， 解 决 了 传 统 三 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 的 局 限 。 而 专 为 高 真 空 挡 板 阀 设 计 的 磁 性 开 关 触 发 磁 路 ( 专 利 产 品 ) ， 具 有 行 业 最 高 的 抗 干 扰 特 性 ， 其 创 新 的 磁 路 设 计 确 保 了 即 便 磁 性 开 关 间 隔 极 小 也 不 会 相 互 干 扰 ， 有 效 减 小 了 挡 板 阀 的 体 积 ， 保 证 了 磁 性 开 关 的 触 发 可 靠 性 。               另 外 ， 本 公 司 研 发 的 手 动 真 空 挡 板 阀 ( 专 利 产 品 ) ， 具 有 独 创 的 结 构 与 外 观 ， 更 加 省 力 与 省 时 的 优 势 。 本 公 司 开 发 的 二 段 控 制 真 空 挡 板 阀 ( 专 利 产 品 ) ， 在 行 业 内 具 有 更 加 小 巧 的 体 积 ， 更 为 精 巧 的 控 制 技 术 。 专 注     精 细     创 新 联 系 人 ： 周 峰 + 8 6 1 8 9 2 7 4 8 7 3 4 5 e d i s o n @ m i r o i n n o . c o m 深 圳 市 宝 安 区 石 岩 街 道 民 营 路 4 号 诚 强 工 业 园 1 栋 二 楼             我 司 的 一 体 式 真 空 阀 已 经 经 过 市 场 的 充 分 验 证 ， 具 有 极 高 的 使 用 寿 命 。 该 产 品 通 过 在 结 构 、 外 观 、 波 纹 管 技 术 、 磁 性 开 关 和 磁 场 技 术 等 多 个 方 面 的 技 术 创 新 ， 以 及 在 稳 定 性 方 面 的 多 项 改 进 ， 拥 有 业 内 七 大 领 先 优 势 。 优 势 1 ： 高 度 紧 凑 的 结 构 设 计 ， 浑 然 天 成 的 外 观 美 感 ( 专 利 产 品 )           本 公 司 的 挡 板 阀 通 过 精 巧 的 结 构 设 计 （ 专 利 结 构 ） 实 现 了 阀 体 内 部 元 件 的 完 全 集 成 ， 包 括 内 置 型 气 缸 、 电 磁 阀 、 两 个 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 、 三 个 L E D 指 示 灯 （ 及 一 个 机 械 指 示 ） 、 六 针 航 空 电 气 插 头 、 6 m m 进 气 接 头 、 1 0 0 微 米 灰 尘 过 滤 器 和 消 声 器 。 这 种 一 体 式 的 精 巧 设 计 赋 予 了 米 洛 挡 板 阀 小 巧 的 整 体 尺 寸 和 浑 然 天 成 的 外 观 美 感 。 相 比 市 面 上 的 其 他 气 动 挡 板 阀 ， 采 用 米 洛 阀 门 的 工 程 设 备 结 构 更 精 巧 ， 电 气 布 线 也 更 合 理 。 优 势 2 ： 千 万 次 动 作 寿 命 ， 极 佳 的 稳 定 性 ( 核 心 技 术 创 新 )         本 公 司 的 挡 板 阀 波 纹 管 采 用 创 新 性 设 计 和 严 苛 测 试 ， 通 过 异 波 距 、 特 殊 柔 性 化 处 理 、 特 殊 表 面 处 理 等 技 术 改 进 ， 实 现 了 卓 越 的 寿 命 表 现 。 具 体 而 言 ， K F 4 0 金 属 成 型 波 纹 管 （ S U S 3 1 6 L 材 质 ） 的 寿 命 约 为 1 5 0 0 万 次 ， K F 2 5 和 K F 1 6 的 寿 命 约 为 1 0 0 0 万 次 ， K F 5 0 （ S U S 3 1 6 L 材 质 ） 的 寿 命 超 过 6 5 0 万 次 。               实 际 应 用 案 例 显 示 ， 在 锂 电 生 产 线 的 氦 检 步 骤 中 ， K F 2 5 型 号 阀 门 以 数 秒 一 次 的 高 频 率 动 作 ， 批 量 化 稳 定 运 行 超 过 1 2 0 0 万 次 寿 命 。                 阀 门 中 的 其 他 动 作 部 件 均 设 计 为 千 万 级 动 作 寿 命 ， 包 括 自 润 滑 气 缸 、 耐 高 温 不 锈 钢 弹 簧 （ 屈 服 强 度 高 达 1 7 0 0 M P a ） 、 以 及 采 用 光 耦 与 大 功 率 三 极 管 设 计 的 磁 性 开 关 等 ； 同 时 ， 为 防 止 潜 在 的 误 操 作 导 致 的 故 障 ， 磁 性 开 关 具 有 防 短 路 和 防 反 接 功 能 ， 电 磁 阀 也 可 防 反 接 ， 灰 尘 过 滤 器 可 防 止 因 使 用 非 洁 净 气 源 导 致 的 电 磁 阀 堵 塞 。                 具 体 部 件 的 寿 命 如 下 ：                 A ． K F 4 0 金 属 成 型 波 纹 管 寿 命 ( S U S 3 1 6 L ) ≈ 1 5 0 0 万 次                 B ． K F 2 5 、 K F 1 6 金 属 成 型 波 纹 管 寿 命 ( S U S 3 1 6 L ) ≈ 1 0 0 0 万 次                 C ． 弹 簧 寿 命 > 1 0 0 0 万 次 ( 材 料 ： 冷 轧 回 火 1 7 7 P H 不 锈 钢 ， 屈 服 强 度 > 1 7 0 0 M p a )                 D ． 气 缸 寿 命 > 2 0 0 0 万 次 ( 理 论 寿 命 )                 E ． 电 磁 阀 寿 命 > 5 0 0 0 万 次 ( 不 超 过 电 磁 阀 工 作 温 度 状 态 下 ， 测 试 数 据 由 厂 家 提 供 )                 F ． 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 寿 命 > 1 亿 次 以 上 （ 具 有 防 短 路 、 防 反 接 、 防 浪 涌 功 能 ， 保 证 电 压 不 超 过 2 8 V 时 ， 任 意 错 误 接 线 都 不 会 导 致 损 坏 ）                 阀 门 寿 命 测 试 方 法               本 公 司 可 为 O E M 客 户 提 供 试 用 样 品 ， 客 户 可 将 样 品 直 接 安 装 在 设 备 上 测 试 ， 也 可 以 单 独 进 行 寿 命 测 试 （ 主 要 是 测 试 波 纹 管 寿 命 ） ， 寿 命 测 试 方 法 如 下 图 ：                 1 、 用 氦 质 谱 检 漏 仪 对 整 个 真 空 管 路 进 行 检 漏 ， 确 保 真 空 管 路 没 有 任 何 漏 点 （ 如 无 检 漏 仪 ， 也 可 以 用 后 续 的 保 压 法 代 替 ， 但 在 安 装 管 路 时 必 须 严 格 检 查 真 空 密 封 面 ） 。                 2 、 为 待 测 试 的 高 真 空 挡 板 阀 供 气 和 供 电 ， 并 以 每 0 . 8 6 秒 的 进 行 一 次 开 关 动 作 （ 即 为 电 磁 阀 提 供 0 . 8 6 秒 的 2 4 V 电 压 ， 再 断 开 0 . 8 6 秒 ） ， 在 这 个 频 率 下 ， 每 2 4 小 时 的 动 作 次 数 为 1 0 万 次 。                 3 、 高 真 空 挡 板 阀 开 始 动 作 以 后 ， 打 开 手 动 阀 和 机 械 泵 ， 第 一 次 对 整 个 管 路 抽 真 空 4 小 时 以 上 ， 然 后 关 阀 手 动 阀 进 行 保 压 ， 再 关 闭 机 械 泵 。                 4 、 在 低 真 空 环 境 中 ， 由 于 管 路 内 部 的 放 气 ， 真 空 计 气 压 会 缓 慢 上 升 ， 最 终 会 稳 定 在 几 十 帕 ～ 二 三 百 帕 （ 取 决 于 管 路 的 洁 净 性 及 以 抽 气 时 间 ） ， 当 高 真 空 挡 板 阀 中 的 波 纹 管 因 疲 劳 而 产 生 任 何 微 小 裂 痕 后 ， 裂 痕 会 在 很 短 时 间 内 迅 速 扩 大 ， 从 而 导 致 气 压 急 剧 上 升 到 几 千 帕 甚 至 大 气 压 。                 5 、 通 过 观 察 真 空 计 的 气 压 是 否 剧 变 ， 统 计 阀 门 的 运 行 天 数 N ： 寿 命 = 1 0 万 次 * N                 备 注 1 ： K F 2 5 ， K F 1 6 建 议 以 2 0 万 次 / 每 天 的 频 率 测 试 。                 备 注 2 ： 大 气 环 境 下 的 波 纹 管 的 管 壁 应 力 远 远 小 于 真 空 环 境 ， 故 寿 命 测 试 必 须 在 真 空 环 境 中 进 行 。                 备 注 3 ： 焊 接 波 纹 管 只 适 合 洁 净 环 境 下 使 用 ， 在 有 尘 环 境 下 ， 灰 尘 积 累 到 焊 接 波 纹 管 的 焊 缝 处 ， 会 造 成 焊 接 波 纹 管 寿 命 的 显 著 下 降 。 另 外 ， 焊 接 波 纹 管 由 于 焊 缝 非 常 多 ， 可 能 存 在 瑕 疵 焊 缝 而 影 响 寿 命 的 稳 定 性 ， 故 一 般 情 况 下 ， 本 公 司 不 推 荐 客 户 使 用 焊 接 波 纹 管 。 优 势 3 ： 2 5 0 ℃ 稳 定 工 作 气 流 温 度             电 磁 阀 的 电 磁 线 圈 是 在 高 温 环 境 下 最 易 发 生 故 障 的 部 件 之 一 。 在 室 温 条 件 下 ， 持 续 开 启 的 电 磁 阀 表 面 温 度 可 能 超 过 8 0 ℃ ， 而 其 最 高 工 作 温 度 为 1 1 0 ℃ 。 米 洛 公 司 设 计 的 挡 板 阀 中 的 电 磁 阀 采 用 了 高 效 的 散 热 和 隔 热 设 计 ， 使 得 在 室 温 下 电 磁 线 圈 表 面 温 度 仅 为 3 7 ℃ 。 这 是 通 过 将 电 磁 阀 的 电 磁 线 圈 通 过 柔 性 导 热 介 质 粘 贴 在 阀 体 最 上 方 温 度 最 低 的 盖 板 上 ， 并 利 用 盖 板 进 行 自 然 散 热 来 实 现 的 。 即 使 在 气 流 温 度 达 到 2 5 0 ℃ 的 条 件 下 ， 电 磁 线 圈 表 面 温 度 也 仅 为 8 5 ℃ ， 保 证 了 电 磁 阀 能 够 长 时 间 稳 定 工 作 。       此 外 ， 米 洛 阀 门 还 采 用 了 耐 高 温 的 磁 性 开 关 、 屈 服 强 度 高 达 1 7 0 0 M P a 的 耐 高 温 不 锈 钢 弹 簧 ， 以 及 耐 高 温 的 气 缸 润 滑 脂 。 这 些 部 件 在 高 温 环 境 下 的 循 环 使 用 次 数 远 优 于 市 场 上 其 他 品 牌 的 相 应 部 件 。 相 比 之 下 ， 市 场 上 某 些 挡 板 阀 品 牌 的 电 磁 阀 温 度 偏 高 ， 并 且 使 用 的 是 不 耐 高 温 的 机 械 触 点 传 感 器 ， 导 致 这 些 部 件 需 要 作 为 易 损 耗 的 备 件 进 行 处 理 。             环 境 温 度 为 2 5 ℃ ， 米 洛 阀 门 中 的 电 磁 阀 表 面 的 温 升 曲 线 为 ：               环 境 温 度 为 2 5 ℃ ， 气 流 温 度 为 2 5 0 ℃ ， 流 速 为 1 . 2 m / s 时 ， 电 磁 阀 表 面 的 温 升 曲 线 为 ( 注 ： 2 5 0 ℃ 为 氟 橡 胶 的 最 高 工 作 温 度 ， 此 温 度 下 氟 橡 胶 的 寿 命 将 会 缩 短 ) 。 ： 优 势 4 ： 领 先 的 二 线 制 磁 性 开 关 ， 超 低 的 6 μ A 漏 电 流 ( 专 利 产 品 )             目 前 市 场 上 应 用 在 气 缸 上 的 位 置 传 感 有 下 面 四 种             干 簧 管 ： 干 簧 管 虽 然 价 格 便 宜 、 漏 电 流 为 0 且 工 作 稳 定 性 高 ， 但 其 脆 弱 性 大 ， 在 高 度 3 0 c m 的 跌 落 就 可 能 损 坏 ， 运 输 和 安 装 过 程 中 风 险 高 ， 通 常 不 适 合 用 作 产 品 传 感 器 。             机 械 开 关 ： 机 械 开 关 价 格 低 廉 ， 标 称 开 启 次 数 超 过 3 0 万 次 ， 即 便 是 标 称 1 0 0 0 万 次 以 上 的 知 名 品 牌 ， 实 际 应 用 中 也 可 能 发 生 故 障 。             霍 尔 磁 性 开 关 ( 三 线 制 ) ： 三 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 虽 然 没 有 跌 落 损 坏 的 风 险 ， 理 论 寿 命 超 过 1 亿 次 ， 漏 电 流 小 （ 约 1 0 0 μ A ） ， 但 其 接 线 复 杂 ， 且 需 要 根 据 不 同 的 P L C 选 择 P N P 或 N P N 型 号 ， 这 给 工 程 设 计 、 选 型 和 电 气 布 线 带 来 了 不 便 ， 故 在 挡 板 阀 中 的 应 用 相 对 较 少 。             霍 尔 磁 性 开 关 ( 二 线 制 ) ： 只 有 二 根 接 线 ( 与 干 簧 管 和 机 械 开 关 相 同 ) ， 适 应 所 有 P L C ， 实 用 性 强 ， 应 用 更 加 广 泛 。 传 统 的 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 虽 适 配 所 有 P L C 、 实 用 性 强 且 应 用 广 泛 ， 但 其 较 大 的 漏 电 流 （ 约 1 m A ， 某 些 极 端 情 况 下 可 能 触 发 错 误 信 号 ） 和 较 小 的 负 载 力 （ 几 十 毫 安 ） 是 主 要 缺 点 ， 使 得 在 某 些 情 况 下 不 得 不 采 用 三 线 制 磁 性 开 关 。       米 洛 公 司 开 发 的 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 （ 专 利 产 品 ） 突 破 了 这 一 限 制 。 由 超 微 功 率 稳 压 管 、 超 微 功 率 霍 尔 磁 性 开 关 、 光 耦 和 大 功 率 三 极 管 等 电 子 元 件 构 成 ， 静 态 工 作 电 流 仅 为 6 μ A ， 工 作 压 降 仅 为 2 . 5 V ， 而 稳 定 工 作 电 流 可 达 0 . 5 A 。 以 日 本 某 S * C 品 牌 最 常 用 的 二 线 制 霍 尔 磁 性 开 关 D M 9 B 为 例 ， 性 能 对 比 如 下 ： B r a n d M i r o J a p a n S * C / D M 9 B T y p e T w o w i r e T w o w i r e L o a d v o l t a g e 5 2 8 V 1 0 2 8 V L e a k c u r r e n t 6 μ A 0 . 8 m A ( 8 0 0 μ A ) V o l t a g e d r o p 2 . 5 V 4 V M a x . c u r r e n t & l t 5 0 0 m A & l t 4 0 m A 优 势 5 ： 四 种 信 号 集 中 指 示 ， 便 于 设 备 的 调 试 与 维 护             米 洛 挡 板 阀 特 设 四 种 信 号 集 中 显 示 功 能 ， 包 括 机 械 杆 指 示 、 电 磁 阀 电 源 信 号 指 示 、 代 表 阀 门 开 启 的 磁 性 开 关 信 号 指 示 以 及 代 表 阀 门 关 闭 的 磁 性 开 关 信 号 指 示 。 这 四 种 信 号 的 组 合 不 仅 提 高 了 调 试 的 效 率 ， 也 大 大 简 化 了 设 备 的 维 护 工 作 。 通 过 这 种 设 计 ， 客 户 能 够 快 速 准 确 地 识 别 和 解 决 问 题 ， 确 保 设 备 运 行 的 稳 定 性 和 可 靠 性 。             A . 机 械 指 示                         机 械 杆 伸 出 ： 阀 门 开 启 。                         机 械 杆 下 降 ： 阀 门 关 闭 。             B . 电 磁 阀 电 源 红 色 L E D                         红 色 L E D 亮 ： 电 磁 阀 电 源 已 接 通 。                         红 色 L E D 灭 ： 电 磁 阀 电 源 已 断 开 。             C . 上 部 磁 性 开 关 L E D 指 示 ( 黄 色 )                         黄 色 信 号 L E D 亮 ( 上 部 ) ： 上 部 磁 性 开 关 闭 合 ， 阀 门 开 启 。                         黄 色 信 号 L E D 灭 ( 上 部 ) ： 上 部 磁 性 开 关 断 开 ， 阀 门 关 闭 。             D . 下 部 磁 性 开 关 L E D 指 示 ( 黄 色 )                         黄 色 信 号 L E D 亮 ( 下 部 ) ： 下 部 磁 性 开 关 闭 合 ， 阀 门 关 闭 。                         黄 色 信 号 L E D 灭 ( 下 部 ) ： 下 部 磁 性 开 关 断 开 ， 阀 门 开 启 。             通 过 这 四 种 信 号 指 示 ， 可 以 快 速 判 断 设 备 的 状 态 。 比 如 电 磁 阀 电 源 红 色 L E D 亮 ， 但 阀 门 的 机 械 杆 没 有 伸 出 ， 表 示 气 源 的 压 力 不 够 。 如 果 阀 门 的 机 械 杆 已 经 伸 出 （ 阀 门 实 际 处 于 开 启 状 态 ） ， 但 上 部 磁 性 开 关 的 黄 色 信 号 L E D 不 亮 ， 表 示 磁 性 开 关 的 2 4 V 接 线 出 现 松 动 等 。 优 势 6 ： 电 气 接 头 朝 向 任 意 可 调 ， 可 使 设 备 的 电 气 布 线 更 加 合 理 、 简 洁 ， 美 观             电 气 接 头 设 计 灵 活 ， 可 以 轻 松 调 整 至 阀 体 的 任 一 侧 面 ， 客 户 可 根 据 需 要 选 择 直 接 头 或 弯 接 头 。 弯 接 头 提 供 四 种 不 同 的 朝 向 选 择 ， 这 一 设 计 极 大 地 增 强 了 电 气 布 线 的 合 理 性 、 简 洁 性 和 美 观 性 。 通 过 灵 活 调 整 接 头 方 向 ， 不 仅 可 以 使 设 备 电 气 布 线 更 加 整 齐 ， 还 有 助 于 提 高 整 体 设 备 的 外 观 和 使 用 功 能 ， 确 保 安 装 过 程 中 的 便 捷 性 和 设 备 运 行 时 的 高 效 性 。       优 势 7 ： 抗 干 扰 磁 触 发 信 号 方 式 （ 专 利 技 术 ）                 市 场 上 的 双 磁 性 开 关 信 号 设 备 通 常 要 求 两 个 磁 性 开 关 间 隔 2 0 m m 以 上 ， 以 避 免 信 号 干 扰 ， 导 致 阀 门 体 积 增 加 。 本 公 司 采 用 的 专 利 磁 路 设 计 确 保 了 两 个 磁 性 开 关 即 使 在 任 意 间 隔 距 离 下 （ 包 括 完 全 重 叠 ） 也 不 会 相 互 干 扰 。 这 种 独 特 的 磁 场 设 计 不 仅 保 证 了 磁 性 开 关 的 触 发 可 靠 性 ， 还 有 效 减 小 了 挡 板 阀 的 体 积 。                 此 外 ， 该 磁 场 触 发 技 术 在 稳 定 性 方 面 展 现 出 显 著 优 势 。 沿 磁 铁 运 动 方 向 的 磁 场 强 度 变 化 曲 线 非 常 陡 峭 ， 确 保 了 触 发 位 置 的 高 精 度 可 控 性 。 而 在 垂 直 于 磁 铁 运 动 方 向 上 ， 磁 场 强 度 的 变 化 曲 线 相 对 平 缓 ， 大 大 减 少 了 装 配 误 差 的 影 响 。 这 意 味 着 磁 性 开 关 即 使 在 垂 直 方 向 上 靠 近 或 远 离 磁 铁 ， 对 触 发 位 置 也 几 乎 没 有 影 响 ， 从 而 提 高 了 整 体 设 备 的 稳 定 性 和 可 靠 性 。       售 后 服 务 ： 三 个 月 包 退 ， 一 年 保 修                 米 洛 公 司 专 注 于 为 客 户 提 供 精 益 求 精 的 、 极 高 品 质 的 气 动 高 真 空 挡 板 阀 ， 所 有 产 品 都 提 供 三 个 月 包 退 ， 一 年 保 修 的 售 后 服 务 。 一 体 式 高 真 空 角 阀 （ M A C , M A O ） 角 阀 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D E F G Z K F 5 0 7 8 7 8 1 8 9 1 0 9 7 0 7 0 3 2 . 2 1 0 K F 4 0 6 5 6 5 1 6 1 . 2 9 7 . 5 6 5 6 5 3 2 . 2 1 0 K F 2 5 5 2 5 2 1 3 6 . 5 7 8 5 0 5 0 3 2 . 2 8 K F 1 6 4 2 4 2 1 1 3 6 1 4 0 4 0 3 2 . 2 4 K F 1 0 4 2 4 2 1 0 7 6 1 3 0 4 0 3 2 . 2 4 角 阀 模 型 下 载 ： K F 1 0   K F 1 6   K F 2 5   K F 4 0   K F 5 0   I S O K D N 6 3   航 空 插 头 一 体 式 高 真 空 直 通 阀 （ M L C , M L O ） 直 通 阀 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D E G Z K F 5 0 7 8 7 8 1 7 8 1 9 8 1 8 6 3 2 . 3 1 0 K F 4 0 6 5 6 5 1 3 0 1 6 2 . 5 1 4 8 3 2 . 2 1 0 K F 2 5 5 2 5 2 1 0 0 1 3 6 1 2 2 3 2 . 2 8 K F 1 6 4 2 4 2 8 0 1 1 4 1 0 4 3 2 . 2 4 K F 1 0 4 2 4 2 8 0 1 1 4 1 0 4 3 2 . 2 4 直 通 阀 模 型 下 载 ： K F 1 0     K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0     K F 5 0 一 体 式 真 空 阀 性 能 参 数 可 选 通 径 I S O K D N 6 3 ， K F 5 0 ， K F 4 0 ， K F 2 5 ， K F 1 6 ， K F 1 0 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 动 密 封 形 式 S U S 3 1 6 L 金 属 成 型 波 纹 管 驱 动 气 源 介 质 洁 净 的 压 缩 的 空 气 或 惰 性 气 体 ( 过 滤 精 度 等 级 I S O 8 5 7 3 1 5 . 4 . 4 ) ， 6 m m 进 气 管 驱 动 气 源 压 力 范 围 3 . 5 7 b a r 典 型 气 源 压 力 6 b a r 外 泄 漏 率 * 1 1 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 0 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 9 m b a r • L / s e c ) 使 用 压 力 1 × 1 0 9 m b a r t o 2 0 0 0 m b a r 正 向 最 大 使 用 压 力 2 0 0 0 m b a r 反 向 最 大 使 用 压 力 1 2 0 0 m b a r 密 封 材 料 F K M 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） 动 作 寿 命 K F 4 0 阀 ≈ 1 5 0 0 万 次 ,   K F 2 5 、 K F 1 6 阀 ≈ 1 0 0 0 万 次 ， K F 5 0 阀 > 6 5 0 万 次 电 磁 阀 额 定 电 压 2 4 V ( ± % 5 ) 磁 性 开 关 电 气 参 数 电 压 5 ~ 2 8 V ， 漏 电 流 6 μ A ， 工 作 压 降 约 2 . 5 V ， 最 大 工 作 电 流 0 . 5 A （ 带 短 路 保 护 功 能 为 0 . 3 5 A ） L E D 信 号 指 示 上 部 黄 色 L E D 亮 ( 阀 门 开 启 ) ， 下 部 黄 色 L E D 亮 ( 阀 门 关 闭 ） ， 红 色 L E D 亮 （ 电 磁 阀 通 电 ） 机 械 伸 出 信 号 指 示 1 0 m m （ 可 根 据 客 户 定 制 0 ~ 1 0 m m ） * 注 1 ： 外 部 泄 漏 率 定 义 为 外 部 空 气 渗 透 至 阀 门 内 部 的 速 率 ， 主 要 受 密 封 面 的 质 量 和 O 型 圈 材 料 的 影 响 。 外 部 泄 漏 可 通 过 外 部 氦 气 检 测 发 现 （ 低 质 量 的 密 封 面 可 能 依 赖 真 空 脂 实 现 临 时 密 封 ， 但 真 空 脂 会 随 时 间 失 效 ， 从 而 导 致 外 部 泄 漏 加 剧 。 同 时 ， 真 空 脂 还 会 增 加 阀 门 的 内 部 泄 漏 ） 。 * 注 2 ： 内 部 泄 漏 率 受 阀 门 内 部 清 洁 度 和 内 部 材 料 的 放 气 性 能 影 响 。 油 污 和 水 渍 会 显 著 增 加 内 部 泄 漏 率 （ 表 现 为 检 漏 仪 出 现 极 高 的 本 底 ） 。 灰 尘 、 O 型 圈 材 料 和 金 属 材 料 的 内 表 面 质 量 也 是 影 响 因 素 ， 如 多 孔 性 的 阳 极 氧 化 层 能 严 重 影 响 内 部 泄 漏 率 。 技 术 手 册 手 动 角 阀 （ H A S ） 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D E F K F 4 0 6 5 6 5 1 5 8 9 7 6 5 6 5 K F 2 5 5 2 5 2 1 3 2 7 8 5 0 5 0 K F 1 6 4 2 4 2 1 0 7 6 1 4 0 4 0 手 动 角 阀 模 型 下 载 ： K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0 手 动 直 通 阀 （ H L S ） 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D K F 4 0 6 5 6 5 1 5 8 . 5 1 4 2 K F 2 5 5 2 5 2 1 3 2 1 0 6 K F 1 6 4 2 4 2 1 0 7 9 3 手 动 直 通 阀 模 型 下 载 ： K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0 性 能 参 数 可 选 通 径 K F 4 0 ， K F 2 5 ， K F 1 6 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L 动 密 封 S U S 3 1 6 L 金 属 成 型 波 纹 管 外 泄 漏 率 * 1 1 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 0 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 9 m b a r • L / s e c ) 使 用 压 力 1 × 1 0 9 m b a r t o 2 0 0 0 m b a r 正 向 最 大 使 用 压 力 2 0 0 0 m b a r 反 向 最 大 使 用 压 力 1 2 0 0 m b a r 密 封 材 料 F K M 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） * 注 1 ： 外 部 泄 漏 率 定 义 为 外 部 空 气 渗 透 至 阀 门 内 部 的 速 率 ， 主 要 受 密 封 面 的 质 量 和 O 型 圈 材 料 的 影 响 。 外 部 泄 漏 可 通 过 外 部 氦 气 检 测 发 现 （ 低 质 量 的 密 封 面 可 能 依 赖 真 空 脂 实 现 临 时 密 封 ， 但 真 空 脂 会 随 时 间 失 效 ， 从 而 导 致 外 部 泄 漏 加 剧 。 同 时 ， 真 空 脂 还 会 增 加 阀 门 的 内 部 泄 漏 ） 。 * 注 2 ： 内 部 泄 漏 率 受 阀 门 内 部 清 洁 度 和 内 部 材 料 的 放 气 性 能 影 响 。 油 污 和 水 渍 会 显 著 增 加 内 部 泄 漏 率 （ 表 现 为 检 漏 仪 出 现 极 高 的 本 底 ） 。 灰 尘 、 O 型 圈 材 料 和 金 属 材 料 的 内 表 面 质 量 也 是 影 响 因 素 ， 如 多 孔 性 的 阳 极 氧 化 层 能 严 重 影 响 内 部 泄 漏 率 。 技 术 手 册 二 段 控 制 真 空 阀 （ D A C , D L C ） 注 ： 外 观 尺 寸 与 3 D 模 型 请 参 照 一 体 式 真 空 阀 控 制 方 式 ： 通 过 控 制 I n p u t 1 与 I n p u t 2 的 电 压 信 号 ， 可 使 阀 门 处 于 闭 合 、 全 开 、 部 分 打 开 这 三 个 状 态 。 阀 门 为 常 闭 型 ， 即 阀 门 在 断 电 情 况 下 为 闭 合 状 态 。 I n p u t 1 I n p u t 2 阀 门 状 态 信 号 输 出 信 号 指 示 0 V 0 V 闭 合 S W 2 闭 合 L E D 2 亮 0 V o r 2 4 V 2 4 V 完 全 打 开 S W 1 闭 合 L E D 1 亮 2 4 V 0 V 部 分 打 开 L E D 3 亮 调 节 部 分 打 开 状 态 时 的 阀 板 高 度 ： 1 . 阀 门 进 入 部 分 打 开 状 态 ( 即 I n p u t 1 接 2 4 V 电 源 信 号 ， I n p u t 2 无 输 入 ) 。 2 . 阀 板 的 可 控 高 度 范 围 为 0 . 7 ~ 3 . 7 m m ， 出 厂 设 定 的 初 始 高 度 为 0 . 7 m m （ 最 小 可 为 客 户 定 制 0 . 4 m m 的 打 开 高 度 ） 。 3 . 按 下 u p 键 不 松 开 ， L E D 3 每 0 . 5 秒 闪 动 一 次 ， 阀 板 每 隔 0 . 5 秒 上 升 0 . 0 4 m m ， 最 大 高 度 为 3 . 7 m m 。 松 开 u p 键 ， 阀 板 的 位 置 信 息 会 储 存 在 阀 门 中 ， 断 电 后 可 保 持 。 4 . 按 下 d o w n 键 不 松 开 ， L E D 3 每 0 . 5 秒 闪 动 一 次 ， 阀 板 每 隔 0 . 5 秒 下 降 0 . 0 4 m m ， 最 小 高 度 为 0 . 7 m m 。 松 开 d o w n 键 ， 阀 板 的 位 置 信 息 会 储 存 在 阀 门 中 ， 断 电 后 可 保 持 。 5 . 阀 门 在 接 入 驱 动 气 源 的 情 况 下 ， 按 下 的 u p / d o w n 键 不 松 开 ， 阀 板 每 隔 0 . 5 秒 会 实 时 上 升 / 下 降 0 . 0 4 m m ； 在 不 接 入 驱 动 气 源 的 情 况 下 ， 按 下 的 u p / d o w n 键 ， 阀 板 的 位 置 信 息 会 储 存 在 阀 门 中 。 比 如 在 第 一 次 操 作 时 ， 出 厂 设 定 的 阀 板 高 度 为 0 . 7 m m ， 按 下 u p 键 1 5 秒 钟 ， 指 示 灯 共 闪 动 3 0 次 ， 则 阀 门 部 分 打 开 时 阀 板 的 位 置 高 度 为 0 . 7 + 0 . 0 4 * ( 1 5 / 0 . 5 ) = 1 . 9 m m 。 二 段 控 制 真 空 阀 性 能 参 数 可 选 通 径 I S O K D N 6 3 ， K F 5 0 ， K F 4 0 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L 可 选 波 纹 管 S U S 3 1 6 L 金 属 成 型 波 纹 管 驱 动 气 源 介 质 洁 净 的 压 缩 的 空 气 或 惰 性 气 体 ( 过 滤 精 度 等 级 I S O 8 5 7 3 1 5 . 4 . 4 ) ， 6 m m 进 气 管 驱 动 气 源 压 力 3 . 0 ± 0 . 2 b a r 外 泄 漏 率 * 1 1 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 0 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 9 m b a r • L / s e c ) 使 用 压 力 1 × 1 0 9 m b a r t o 2 0 0 0 m b a r 正 向 最 大 使 用 压 力 2 0 0 0 m b a r 反 向 最 大 使 用 压 力 1 2 0 0 m b a r 密 封 材 料 F K M 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） 电 磁 阀 额 定 电 压 2 4 V ( ± % 5 ) 磁 性 开 关 电 气 参 数 电 压 5 ~ 2 8 V ， 漏 电 流 6 μ A ， 工 作 压 降 约 2 . 5 V ， 最 大 工 作 电 流 0 . 5 A （ 带 短 路 保 护 功 能 为 0 . 3 5 A ） * 注 1 ： 外 部 泄 漏 率 定 义 为 外 部 空 气 渗 透 至 阀 门 内 部 的 速 率 ， 主 要 受 密 封 面 的 质 量 和 O 型 圈 材 料 的 影 响 。 外 部 泄 漏 可 通 过 外 部 氦 气 检 测 发 现 （ 低 质 量 的 密 封 面 可 能 依 赖 真 空 脂 实 现 临 时 密 封 ， 但 真 空 脂 会 随 时 间 失 效 ， 从 而 导 致 外 部 泄 漏 加 剧 。 同 时 ， 真 空 脂 还 会 增 加 阀 门 的 内 部 泄 漏 ） 。 * 注 2 ： 内 部 泄 漏 率 受 阀 门 内 部 清 洁 度 和 内 部 材 料 的 放 气 性 能 影 响 。 油 污 和 水 渍 会 显 著 增 加 内 部 泄 漏 率 （ 表 现 为 检 漏 仪 出 现 极 高 的 本 底 ） 。 灰 尘 、 O 型 圈 材 料 和 金 属 材 料 的 内 表 面 质 量 也 是 影 响 因 素 ， 如 多 孔 性 的 阳 极 氧 化 层 能 严 重 影 响 内 部 泄 漏 率 。 技 术 手 册 泄 压 型 真 空 阀 注 ： 外 观 尺 寸 与 3 D 模 型 请 参 照 一 体 式 真 空 阀 产 品 介 绍 ● 安 装 方 法 ： 下 法 兰 接 腔 室 ， 侧 面 法 兰 接 大 气 。 ● 当 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 2 0 K P a 时 ， 阀 板 会 完 全 打 开 （ 可 根 据 客 户 要 求 设 计 合 适 的 压 力 ） 。 ● 当 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 约 1 0 K P a 时 ， 阀 板 开 始 会 有 微 小 泄 漏 。 ● 腔 室 侧 抽 真 空 时 ， 阀 板 会 自 动 吸 合 密 封 。 ● 外 观 尺 寸 同 M A C 系 列 一 体 式 真 空 阀 。 技 术 参 数 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L 动 密 封 F K M 外 泄 漏 率 * 1 2 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 1 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 1 m b a r • L / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m 3 • P a / s e c ) 反 向 最 大 使 用 压 力 ≈ 1 0 K P a 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） 注 ： 泄 压 型 气 动 高 真 空 角 阀 的 二 个 法 兰 口 中 ， 侧 面 的 法 兰 口 接 大 气 侧 ， 底 面 的 法 兰 应 接 真 空 侧 。 腔 室 侧 抽 真 空 时 ， 阀 板 会 自 动 吸 合 密 封 。 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 约 2 0 K P a 时 ， 阀 板 完 全 打 开 。 技 术 手 册 泄 压 型 真 空 阀 注 ： 外 观 尺 寸 与 3 D 模 型 请 参 照 一 体 式 真 空 阀 产 品 介 绍 ● 安 装 方 法 ： 下 法 兰 接 腔 室 ， 侧 面 法 兰 接 大 气 。 ● 当 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 2 0 K P a 时 ， 阀 板 会 完 全 打 开 （ 可 根 据 客 户 要 求 设 计 合 适 的 压 力 ） 。 ● 当 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 约 1 0 K P a 时 ， 阀 板 开 始 会 有 微 小 泄 漏 。 ● 腔 室 侧 抽 真 空 时 ， 阀 板 会 自 动 吸 合 密 封 。 ● 外 观 尺 寸 同 M A C 系 列 一 体 式 真 空 阀 。 技 术 参 数 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L 动 密 封 F K M 氟 胶 O 型 圈 外 泄 漏 率 * 1 1 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ( 1 × 1 0 1 1 m 3 • P a / s e c ) 反 向 最 大 使 用 压 力 约 1 0 K P a （ 超 过 会 使 弹 簧 失 去 预 紧 力 ） 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） 注 ： 泄 压 型 气 动 高 真 空 角 阀 的 二 个 法 兰 口 中 ， 侧 面 的 法 兰 口 接 大 气 侧 ， 底 面 的 法 兰 应 接 真 空 侧 。 腔 室 侧 抽 真 空 时 ， 阀 板 会 自 动 吸 合 密 封 。 腔 室 侧 的 压 力 ( P ) 超 过 大 气 侧 ( A T M ) 约 2 0 K P a 时 ， 阀 板 完 全 打 开 。 技 术 手 册 外 置 型 角 阀 （ N A C , N A O , N A S ） 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D E F K F 4 0 6 5 6 5 1 4 5 9 7 . 5 6 5 6 5 K F 2 5 5 2 5 2 1 2 1 7 8 5 0 5 0 K F 1 6 4 2 4 2 9 6 6 1 4 0 4 0 模 型 下 载 ： K F 1 6   K F 2 5   K F 4 0 性 能 参 数 可 选 通 径 K F 4 0 ， K F 2 5 ， K F 1 6 可 选 主 体 材 质 铝 A 6 0 6 1 ， 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L 动 密 封 S U S 3 1 6 L 金 属 成 型 波 纹 管 外 泄 漏 率 * 1 1 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 0 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 0 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 9 m b a r • L / s e c ) 使 用 压 力 1 × 1 0 9 m b a r t o 2 0 0 0 m b a r 正 向 最 大 使 用 压 力 2 0 0 0 m b a r 反 向 最 大 使 用 压 力 1 2 0 0 m b a r 密 封 材 料 F K M 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） * 注 1 ： 外 部 泄 漏 率 定 义 为 外 部 空 气 渗 透 至 阀 门 内 部 的 速 率 ， 主 要 受 密 封 面 的 质 量 和 O 型 圈 材 料 的 影 响 。 外 部 泄 漏 可 通 过 外 部 氦 气 检 测 发 现 （ 低 质 量 的 密 封 面 可 能 依 赖 真 空 脂 实 现 临 时 密 封 ， 但 真 空 脂 会 随 时 间 失 效 ， 从 而 导 致 外 部 泄 漏 加 剧 。 同 时 ， 真 空 脂 还 会 增 加 阀 门 的 内 部 泄 漏 ） 。 * 注 2 ： 内 部 泄 漏 率 受 阀 门 内 部 清 洁 度 和 内 部 材 料 的 放 气 性 能 影 响 。 油 污 和 水 渍 会 显 著 增 加 内 部 泄 漏 率 （ 表 现 为 检 漏 仪 出 现 极 高 的 本 底 ） 。 灰 尘 、 O 型 圈 材 料 和 金 属 材 料 的 内 表 面 质 量 也 是 影 响 因 素 ， 如 多 孔 性 的 阳 极 氧 化 层 能 严 重 影 响 内 部 泄 漏 率 。 技 术 手 册 超 高 真 空 角 阀 尺 寸 表 ( 单 位 ： m m ) m o d e l A B C D E F C F 4 0 6 5 6 5 1 5 9 9 7 . 5 6 2 . 8 6 2 . 8 C F 1 6 4 2 4 2 1 1 1 5 9 3 8 3 8 模 型 下 载 ： C F 1 6   C F 4 0 性 能 参 数 可 选 通 径 C F 4 0 ， C F 1 6 可 选 主 体 材 质 不 锈 钢 S U S 3 1 6 L ( 一 体 加 工 无 焊 缝 ， 镜 面 抛 光 ) 动 密 封 S U S 3 1 6 L 金 属 成 型 波 纹 管 外 泄 漏 率 * 1 2 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 1 m b a r • L / s e c ) 泄 漏 率 * 1 2 m 3 • P a / s e c ( 1 × 1 0 1 1 m b a r • L / s e c ) 使 用 压 力 1 × 1 0 9 m b a r t o 2 0 0 0 m b a r 正 向 最 大 使 用 压 力 2 0 0 0 m b a r 反 向 最 大 使 用 压 力 1 2 0 0 m b a r 密 封 材 料 F K M 最 高 工 作 气 流 温 度 2 5 0 ℃ （ 阀 体 处 于 室 温 冷 却 环 境 ） * 注 1 ： 外 部 泄 漏 率 定 义 为 外 部 空 气 渗 透 至 阀 门 内 部 的 速 率 ， 主 要 受 密 封 面 的 质 量 和 O 型 圈 材 料 的 影 响 。 外 部 泄 漏 可 通 过 外 部 氦 气 检 测 发 现 （ 低 质 量 的 密 封 面 可 能 依 赖 真 空 脂 实 现 临 时 密 封 ， 但 真 空 脂 会 随 时 间 失 效 ， 从 而 导 致 外 部 泄 漏 加 剧 。 同 时 ， 真 空 脂 还 会 增 加 阀 门 的 内 部 泄 漏 ） 。 * 注 2 ： 内 部 泄 漏 率 受 阀 门 内 部 清 洁 度 和 内 部 材 料 的 放 气 性 能 影 响 。 油 污 和 水 渍 会 显 著 增 加 内 部 泄 漏 率 （ 表 现 为 检 漏 仪 出 现 极 高 的 本 底 ） 。 灰 尘 、 O 型 圈 材 料 和 金 属 材 料 的 内 表 面 质 量 也 是 影 响 因 素 ， 如 多 孔 性 的 阳 极 氧 化 层 能 严 重 影 响 内 部 泄 漏 率 。 3 D 模 型 下 载 一 体 式 高 真 空 角 阀 ： K F 1 0   K F 1 6   K F 2 5   K F 4 0   K F 5 0   I S O K D N 6 3   航 空 插 头 一 体 式 高 真 空 直 通 阀 ： K F 1 0     K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0     K F 5 0 手 动 角 阀 ： K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0 手 动 直 通 阀 ： K F 1 6     K F 2 5     K F 4 0 外 置 型 角 阀 ： K F 1 6   K F 2 5   K F 4 0 超 高 真 空 角 阀 ： C F 1 6   C F 4 0 技 术 手 册 米 洛 创 新 ( 深 圳 ) 有 限 公 司 产 品 介 绍 . p d f 一 体 式 高 真 空 挡 板 阀 使 用 手 册 . p d f 一 体 式 真 空 挡 板 阀 维 护 手 册 . p d f 手 动 高 真 空 挡 板 阀 技 术 手 册 . p d f 二 段 控 制 高 真 空 挡 板 阀 技 术 参 数 . p d f 外 置 型 高 真 空 角 阀 技 术 参 数 . p d f 泄 压 型 高 真 空 挡 板 阀 说 明 书 . p d f 阀 门 寿 命 测 试 方 法 . p d f 注 ： 一 般 气 动 角 阀 的 二 个 法 兰 口 中 ， 侧 面 的 法 兰 口 应 接 高 压 侧 ， 底 面 的 法 兰 应 接 低 压 侧 （ 真 空 侧 ） ， 这 样 阀 门 可 为 系 统 提 供 最 安 全 的 密 封 稳 定 性 。 米 洛 阀 门 也 可 以 采 用 反 向 接 法 ， 阀 门 内 部 弹 簧 能 提 供 足 够 的 预 紧 力 ， 可 以 满 足 O 型 圈 的 压 紧 力 和 一 个 大 气 压 的 反 推 力 。 C o p y r i g h t © 米 洛 创 新 ( 深 圳 ) 有 限 公 司             粤 I C P 备 2 0 0 5 9 4 0 0 号

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