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半导体用陶瓷静电卡盘ESC、 精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。12寸&、 8寸氧化铝&氧化铝静电卡盘、 300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘、

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专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。12寸&8寸氧化铝&氧化铝静电卡盘，300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力，并设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心。

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